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产品名称:海洋光学PlasCalc 等离子体监测控制仪,海洋光学

产品型号:PlasCalc

产品报价:

产品特点:光学分辨率1.0nm(FWHM) 光谱范围 200-1100nm 快速的建模及存储实验方法

PlasCalc海洋光学PlasCalc 等离子体监测控制仪,海洋光学的详细资料:

 

海洋光学PlasCalc 等离子体监测控制仪

 

 

PlasCalc 等离子体监测控制仪,实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量,通过高级过程控制系统及精密数据存取算法,只需3m就可以获得测量结果。

海洋光学特点

  • 海洋光学分辨率1.0nm(FWHM)

  • 光谱范围 200-1100nm

  • 快速的建模及存储实验方法

海洋光学Recipe编辑器

Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等,能够快速简单的构建模块过程控制。

多种工具用于等离子体诊断

随PlasCalc配置的操作软件,集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器(可以单独购买)用于类型确认,而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。

PlasCalc 配置说明

光谱范围:

200-1100 nm

光学分辨率:

1.0 nm (FWHM)

D/A 转换:

14 bit

数字I/O:

8 x TTL

模拟输出:

4 x [0-10V]

接口:

USB 1.1

功耗:

12 VDC @ 1.25 A

电源:

90-240 VAC 50/60 Hz

尺寸:

257 mm x 152 mm x 263 mm

重量:

5 kg

 

PlasCalc 等离子体监测控制仪优点是软件分析功能强大,光谱范围宽,缺点是分辨率低.


 

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